微电子

助力当今最热门、最先进微电子技术的大批量生产。

 
 
 

杜邦的多元技术可实现可靠的超纯水供应、最少液体排放和最大限度的废化学品回收

微电子市场中的半导体、平板显示器和光伏等设备在制造过程依赖水作为关键原材料。超纯水 (UPW) 是生产过程中用来冲洗残留物的主要清洗溶剂。当今的集成电路非常复杂,即使是最微小的污染物也会使电路无法正常工作。与此同时,更严格的排放标准和可持续发展的理念促使最终用户回收更多废水和化学品,以达到最少液体排放甚至零液体排放的目标。

多年来,杜邦水处理解决方案一直在满足世界各地最终用户、原始设备制造商 (OEM) 和服务公司的需求。通过先进的超滤 (UF)、膜生物反应器 (MBR)、脱气膜、反渗透 (RO) 和离子交换树脂 (IER) 技术, 结合我们的经验和一系列的解决方案让我们成为微电子加工中超纯水生产、废水再利用、废弃化学品回收和净化领域的完美合作伙伴,

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

满足您需求的全面解决方案

了解更多关于我们在行业中的最新创新。
预处理
一回路除盐
精处理回路
回收回路

整个净化线的保护

在初级净化线之前去除硬度或悬浮固体和胶体等大颗粒,是保证下游除盐处理最佳性能的关键步骤。

 

超滤预处理

与多介质过滤器 (MMF) 相比,杜邦超滤 (UF) 技术已证明其在去除悬浮固体、胶体和藻类方面具有优异性能,从而更好地保护下游反渗透系统,提高稳定性和制水效率。现在,随着整合 DuPont™ IntegraFlux™、inge® 和 MEMCOR® 的超滤技术,杜邦拥有从内压到外压、从PES 到 PVDF、从压力式超滤到浸没式超滤的最广泛的超滤产品。根据进水水质和客户要求,杜邦可以提供最适合的高稳定性、低能耗、低化学品消耗的超滤产品。 

 

使用离子交换树脂进行软化

杜邦的软化离子交换树脂 (IER) 可去除微量的硬度,保护和提高反渗透装置的回收率。杜邦的强酸阳离子交换树脂和弱酸阳离子交换树脂都可用于软化。 

 

通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们 UPW 预处理产品的信息。

去除溶解杂质,达到近超纯水质量

自 20 世纪 90 年代以来,使用离子交换树脂 (IER) 进行除盐已经成为半导体工厂中非常普遍的技术。杜邦选择并开发了一系列特殊的 IER,在反渗透 (RO) 装置前提供即时的优质进水。

 

杜邦 Ligasep™ 脱气膜能有效去除水中的二氧化碳。与传统脱气塔相比,杜邦 Ligasep™ 具有更高的去除率、更小的占地面积和更高的洁净度。

 

杜邦 FilmTec™ 是薄膜复合反渗透的发明者,是现代反渗透技术的核心。FilmTec™ 反渗透凭借其稳定的高品质和皮实耐用的产品而闻名,为整个生命周期创造了更低的成本。杜邦开发了特制的半导体级反渗透 (SG),对低分子有机物的截留率更高,并可加速总有机碳 (TOC) 的冲洗。

 

FilmTec™ ECO 系列反渗透元件具有领先的性能和较低的能耗。FilmTec™ Fortilife™ CR100 反渗透元件具有领先的抗污染能力,在进水污染倾向较高的情况下也能拥有可靠的性能。 

 

混床脱盐在反渗透装置之后产出近乎超纯水的质量。25 年来,杜邦 AmberTec™ UP 树脂的效率和高性能评级已得到半导体行业的认可。

 

通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们 UPW 一回路产品的信息。

消除微量污染物,实现最高超纯水质量 

微电子领域的制造工艺对 UPW 质量有着严格的要求,包括电阻率、金属、TOC、硼、溶解氧、颗粒等。

 

抛光混床树脂

为了达到对电阻率、金属、TOC 的更高要求,选择合适的最终抛光混床树脂非常重要。杜邦 AmberTec™ 抛光混床树脂凭借久经考验的稳定、可靠性能而得到广泛认可。一般来说,根据不同行业所需的 UPW 质量和实践,可以使用杜邦以下抛光混床树脂:

 
硼选择性树脂 AmberTec™

当进水中的硼浓度较高或制造工艺对硼有着严格要求时,需要使用除硼树脂。杜邦开发了特制的半导体级硼选择性树脂 AmberTec™ UP7530,TOC 更低,工作容量更高,粒径更均匀,可用于 UPW 精处理回路。 

 
脱气膜

脱气膜广泛用于去除 UPW 水中的氧气。杜邦 Ligasep™ 脱气组件中独特的半致密真皮透气膜可简化系统设计,并提供更好的性能。 

 

通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们精处理回路产品的信息。

最大化废水的价值

微电子行业消耗大量的水。为节约用水,并实现业务的可持续发展,该行业一直热衷于回收各种生产过程中产生的废水。根据废水来源的成分和浓度,合适的产品和处理工艺会有很大的不同。杜邦提供各种各样的技术和产品来回收废水或废水中有价值的物质。 

 

反渗透 (RO)

反渗透技术已广泛用于减少给水中的杂质,然后重新作为 UPW 的给水或作为公用事业用水。根据给水特性和客户需求,可以使用杜邦 FilmTec™ 的不同反渗透产品。FilmTec™ ECO 系列反渗透元件适用于污染倾向较低的废水且运行成本最低。FilmTec™ Fortilife™ CR 系列反渗透元件适用于污染倾向高且要求高产水质量的废水。FilmTec™ Fortilife™ XC 系列反渗透元件可用于高回收率的再生和再利用反渗透系统,可将RO浓水中的TDS提高到 70,000-80,000 ppm。这些元件适用于优先考虑可靠性和清洁频率的高污染倾向性和高盐度的工艺流程。

 

离子交换树脂, 超滤, MBR 和脱气膜

离子交换树脂、超滤、膜脱气等技术也用于实现水再利用和/或废水资源的循环利用。以下是一些例子:

 

通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们微电子回收回路产品的信息。

 

  • 预处理 +

    整个净化线的保护

    在初级净化线之前去除硬度或悬浮固体和胶体等大颗粒,是保证下游除盐处理最佳性能的关键步骤。

     

    超滤预处理

    与多介质过滤器 (MMF) 相比,杜邦超滤 (UF) 技术已证明其在去除悬浮固体、胶体和藻类方面具有优异性能,从而更好地保护下游反渗透系统,提高稳定性和制水效率。现在,随着整合 DuPont™ IntegraFlux™、inge® 和 MEMCOR® 的超滤技术,杜邦拥有从内压到外压、从PES 到 PVDF、从压力式超滤到浸没式超滤的最广泛的超滤产品。根据进水水质和客户要求,杜邦可以提供最适合的高稳定性、低能耗、低化学品消耗的超滤产品。 

     

    使用离子交换树脂进行软化

    杜邦的软化离子交换树脂 (IER) 可去除微量的硬度,保护和提高反渗透装置的回收率。杜邦的强酸阳离子交换树脂和弱酸阳离子交换树脂都可用于软化。 

     

    通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们 UPW 预处理产品的信息。

  • 一回路除盐 +

    去除溶解杂质,达到近超纯水质量

    自 20 世纪 90 年代以来,使用离子交换树脂 (IER) 进行除盐已经成为半导体工厂中非常普遍的技术。杜邦选择并开发了一系列特殊的 IER,在反渗透 (RO) 装置前提供即时的优质进水。

     

    杜邦 Ligasep™ 脱气膜能有效去除水中的二氧化碳。与传统脱气塔相比,杜邦 Ligasep™ 具有更高的去除率、更小的占地面积和更高的洁净度。

     

    杜邦 FilmTec™ 是薄膜复合反渗透的发明者,是现代反渗透技术的核心。FilmTec™ 反渗透凭借其稳定的高品质和皮实耐用的产品而闻名,为整个生命周期创造了更低的成本。杜邦开发了特制的半导体级反渗透 (SG),对低分子有机物的截留率更高,并可加速总有机碳 (TOC) 的冲洗。

     

    FilmTec™ ECO 系列反渗透元件具有领先的性能和较低的能耗。FilmTec™ Fortilife™ CR100 反渗透元件具有领先的抗污染能力,在进水污染倾向较高的情况下也能拥有可靠的性能。 

     

    混床脱盐在反渗透装置之后产出近乎超纯水的质量。25 年来,杜邦 AmberTec™ UP 树脂的效率和高性能评级已得到半导体行业的认可。

     

    通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们 UPW 一回路产品的信息。

  • 精处理回路 +

    消除微量污染物,实现最高超纯水质量 

    微电子领域的制造工艺对 UPW 质量有着严格的要求,包括电阻率、金属、TOC、硼、溶解氧、颗粒等。

     

    抛光混床树脂

    为了达到对电阻率、金属、TOC 的更高要求,选择合适的最终抛光混床树脂非常重要。杜邦 AmberTec™ 抛光混床树脂凭借久经考验的稳定、可靠性能而得到广泛认可。一般来说,根据不同行业所需的 UPW 质量和实践,可以使用杜邦以下抛光混床树脂:

     
    硼选择性树脂 AmberTec™

    当进水中的硼浓度较高或制造工艺对硼有着严格要求时,需要使用除硼树脂。杜邦开发了特制的半导体级硼选择性树脂 AmberTec™ UP7530,TOC 更低,工作容量更高,粒径更均匀,可用于 UPW 精处理回路。 

     
    脱气膜

    脱气膜广泛用于去除 UPW 水中的氧气。杜邦 Ligasep™ 脱气组件中独特的半致密真皮透气膜可简化系统设计,并提供更好的性能。 

     

    通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们精处理回路产品的信息。

  • 回收回路 +

    最大化废水的价值

    微电子行业消耗大量的水。为节约用水,并实现业务的可持续发展,该行业一直热衷于回收各种生产过程中产生的废水。根据废水来源的成分和浓度,合适的产品和处理工艺会有很大的不同。杜邦提供各种各样的技术和产品来回收废水或废水中有价值的物质。 

     

    反渗透 (RO)

    反渗透技术已广泛用于减少给水中的杂质,然后重新作为 UPW 的给水或作为公用事业用水。根据给水特性和客户需求,可以使用杜邦 FilmTec™ 的不同反渗透产品。FilmTec™ ECO 系列反渗透元件适用于污染倾向较低的废水且运行成本最低。FilmTec™ Fortilife™ CR 系列反渗透元件适用于污染倾向高且要求高产水质量的废水。FilmTec™ Fortilife™ XC 系列反渗透元件可用于高回收率的再生和再利用反渗透系统,可将RO浓水中的TDS提高到 70,000-80,000 ppm。这些元件适用于优先考虑可靠性和清洁频率的高污染倾向性和高盐度的工艺流程。

     

    离子交换树脂, 超滤, MBR 和脱气膜

    离子交换树脂、超滤、膜脱气等技术也用于实现水再利用和/或废水资源的循环利用。以下是一些例子:

     

    通过访问我们的产品查找器,了解更多有关我们微电子回收回路产品的信息。

     

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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