Kalrez® 半导体制程密封件

半导体制程密封件经业界实证的污染控制能力

纯度对于高晶圆产量至关重要,Kalrez® 密封件所具备的设计特性可以减少微粒、排气和萃取物的污染。

Semiconductor Proccessing Seals Table

Kalrez® 半导体加工密封件已在半导体芯片的制造中得到了实地验证。

这些密封件可用于广泛的半导体工艺,有助于延长计划维护间隔,降低长期个别单位成本。 根据多个生产客户的评估,与竞争对手的氟橡胶相比,不论是静态还是动态密封应用,Kalrez® 密封件都表现出更好的机械强度、更少的微粒生成并具有更长的密封寿命。  

 

改善操作

Kalrez® 密封件可以在广泛的晶圆生产操作中改善半导体生产流程,包括:

  • 沉积
  • 刻蚀
  • 灰化/去光阻
  • 热制程
  • 湿制程

Spansion 实现更好的性能

全球最大的闪存解决方案提供商 Spansion 采用杜邦的材料方案,实现更长的密封寿命和更少的微粒生成。 密封侵蚀会导致大量颗粒和泄露,而压缩形变会使得多个工艺出现密封问题。 Kalrez® 9100 部件能够大幅降低密封侵蚀,减少微粒生成并提供更好的弹性回复特性。 查看 Spansion 半导体 O 型圈案例研究

久经考验的领先材料

IMEC 在隔离阀和上喷嘴位置测试 Kalrez® 9100 密封件与现有密封件时,9100 密封件在 5000 个周期之后未出现破损,并且没有任何破损迹象。

这些结果促使 IMEC 在比利时的国际研究中心将目前使用的所有氟橡胶密封件都改为 Kalrez® 9100 密封件。 查看 IMEC 案例研究

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