Kalrez® 粘合门密封件

粘合门密封件
Kalrez® 粘合门密封件

适用于闸门阀的粘合门密封件和真空阀门密封件应用通过减少颗粒的生成、延长密封寿命并最小化预防性维护期间的更换时间,实现高于传统 O 型圈的密封性能。

杜邦™ Kalrez® 粘合门密封件是为简化安装和减少颗粒生成而设计的。 它们融合了自定义密封设计、专有粘合技术,以及为半导体应用而开发的 Kalrez® 全氟橡胶密封材料出色的耐等离子体性。 与传统 O 型圈相比,密封是在“固定”的位置,因此能够消除门启动时的“滚压/扭转”和磨耗。 此外,密封设计已使用有限元分析 (FEA) 进行了优化,以最小化局部应力集中。 因此,粒子产生和密封性能相比传统 O 型圈都有了大幅改善。

典型应用
当前,粘合门密封件已取代 O 型圈应用于闸门阀,真空阀燕尾槽则应用于微粒敏感型半导体刻蚀、去除灰分、光阻和/或沉淀处理中。

相比传统 O 型圈,减少了粒子产生并延长了密封寿命

  • 密封部分位于固定的位置,也就是消除了使用中的“滚压/扭转”
  • 设计消除了启动/加压期间 O 型圈与燕尾槽边缘之间的磨耗
  • Kalrez® 半导体产品等级用于最小化活性等离子体中粒子的产生
  • Kalrez® Ultrapure™ 后清洗和封装可以减少有害的污染
  • 提高的密封性能 - 最理想的设计能够最小化局部应力的高浓度

相比 O 型圈密封,预防性维护期间的更换时间减少

  • 快速、轻松地安装/摘卸以装配硬件
  • 使用 O 型圈密封时常见的安装问题会减少
  • 预防性维护期间无需清洗密封盖
  • 封装上的条码、粘合门密封件部件号以及市售的粘合门密封件背面雕刻的 Kalrez® 产品编号,可实现追踪和识别,以确保是 Kalrez® 全氟橡胶部件 (FFKM)。

可用性
杜邦™ Kalrez® 粘合门密封件有用于半导体 OEM 设备平台的大量阀类型可供选择。  此外,对大部分闸门阀和真空阀门应用,如果没有现成产品满足要求,可以开发定制的 Kalrez® 粘合门密封件。  Kalrez® UltraPure™ 后清洗和包装适用于所有粘合门密封件。