MOCVD 前驱物

陶氏电子材料事业群是LED制造所用的III-V族有机金属化学气相沉积(MOCVD)前驱物的主要供应商,在此市场领域拥有超过35年的经验,所提供的产品包括有三甲基镓、三甲基铝、三甲基铟和其他前驱物。

我们利用我们对材料和应用的深刻了解来开发超出前驱物范围的解决方案,这包括我们在业内处于领先地位的、可应用于液体和固体MOCVD前驱物的传送技术。

在传送技术方面的专业力量
我们拥有专利的、代表最先进技术的UNIFLO™ 钢瓶能够实现固体前驱物的材料最大化利用率,而且能够确保材料输出的稳定流动。我们同时还推出了革命性的VAPORSTATION™ 中央传送系统,这种传送技术可以使用户仅从一个钢瓶就可同时供应多台反应器,从而提高了控制水平,消除了补充前驱物所需的反应器停机时间,实现了最高水平的安全性并降低了购置成本。

传送技术
实现高效率的LED外延片制造

VAPORSTATION™ 中央传送系统

UNIFLO™ II 钢瓶